Полупроводниковая интегральная микросхема - микросхема, все элементы и межэлементные соединения выполнены в объеме и на поверхности полупроводника.

Полупроводниковая пластина - заготовка из полупроводникового материала, используемая для изготовления полупроводниковых ИМС.

Элемент интегральной микросхемы - часть микросхемы, реализующая функцию какого-либо электрорадиоэлемента, которая выполнена нераздельно от кристалла(подложки) и не может быть выделена как самостоятельное изделие. К электрорадиоэлементам относятся резисторы, транзисторы, диоды, конденсаторы и т.д.

Пленочная интегральная микросхема - интегральная микросхема, элементы которой выполнены в виде рисунка из пленок с различными электрическими свойствами. Пленочные ИМС могут быть толстопленочными и тонкопленочными.